近日,由中國電科第45研究所承擔(dān)的國內(nèi)第一臺(tái)具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的全自動(dòng)引線鍵合機(jī)成功地完成了連續(xù)焊線,標(biāo)志著我國微電子封裝裝備技術(shù)發(fā)展再一次取得了重大突破,該設(shè)備各項(xiàng)工藝技術(shù)指標(biāo)完全符合“十一五”國家集成電路制造裝備重大專項(xiàng)(02專項(xiàng))規(guī)定的指標(biāo)。
長期以來,我國微電子技術(shù)后封裝環(huán)節(jié)技術(shù)密集度最高的關(guān)鍵設(shè)備----全自動(dòng)引線鍵合機(jī)始終沒有取得突破,完全被發(fā)達(dá)國家所壟斷,制約了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。該設(shè)備的研制成功,標(biāo)志著我國打破了微電子技術(shù)后封裝環(huán)節(jié)的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。
該設(shè)備在計(jì)算機(jī)控制、精密機(jī)械、光學(xué)、圖像處理、超聲波、溫度控制等多個(gè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了技術(shù)上的重大突破,自行編寫了龐大的軟件系統(tǒng),設(shè)計(jì)開發(fā)了運(yùn)動(dòng)控制器等電氣系統(tǒng),其中X、Y、Z向運(yùn)動(dòng)分別可達(dá)15G、15G、100G以上的加速度(F1賽車運(yùn)動(dòng)員和宇航員承受的最大加速度為5G和6G)。該項(xiàng)目共申請(qǐng)國家專利15項(xiàng)。
全自動(dòng)引線鍵合機(jī)是微電子技術(shù)后封裝領(lǐng)域用量最大的設(shè)備(全球一年約15000臺(tái),中國大陸約8000臺(tái)),下一步,中國電科將通過半年到一年的工藝試驗(yàn)、改進(jìn)、完善和優(yōu)化工作,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)引線鍵合機(jī)商業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化,打破此種設(shè)備長期完全依賴進(jìn)口的局面。