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        近日，2所承擔的國家科技部“02重大專項—極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”三個課題——等離子清洗設備及工藝技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目、高速自動電鍍生產(chǎn)線的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目、無氧化烘箱的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目順利通過客戶現(xiàn)場驗收，按期完成了課題節(jié)點任務目標。

        三個課題的順利驗收，標志著2所的尖端科研水平有了新的提升，為我所承擔“十二五”重大科研項目奠定了良好的基礎。